熱反射式激光共聚焦顯微鏡

簡(jiǎn)要描述：CTRM 700激光共聚焦顯微鏡是韓國(guó)Nanoscope Systems 公司研發(fā)的一款熱反射式激光共聚焦顯微鏡，集熱成像與高速3D激光共聚焦顯微鏡于一體，可以在同時(shí)觀察樣品的熱成像與三維形貌。

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詳細(xì)介紹

CTRM700 是韓國(guó)?????所研發(fā)并由韓國(guó)Nanoscope Systems 進(jìn)行商業(yè)化運(yùn)營(yíng)的熱反射式激光共聚焦顯微鏡。

CTRM 700熱反射式激光共聚焦顯微鏡利用的是激光共聚焦掃描的方法測(cè)量樣品表面或內(nèi)部特定表面上溫度變化引起的反射率變化的分布來(lái)獲取樣品的熱分別圖像。

Principles & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：

熱反射顯微鏡（Thermal Reflectance Microscope) 是一種基于測(cè)量樣品表面光反射率變化而測(cè)量樣品溫度變化的一種技術(shù)。

共聚焦熱反射顯微技術(shù)是一種激光掃描共聚焦方法，它可以在局部區(qū)域獲得比傳統(tǒng)熱成像技術(shù)（紅外成像技術(shù)）更高分辨率的熱成像圖像。

Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：

半導(dǎo)體器件熱特性的測(cè)量與分析：

-柔性顯示面板缺陷檢查

-OLED內(nèi)部缺陷檢查

-高輸出功率裝置發(fā)熱特性的測(cè)量與分析

-傳感器單元的紅外圖像分析

-氧化物薄膜晶體管的熱特性

-3D堆疊半導(dǎo)體熱特性的測(cè)量分析

-OLED 器件的熱特性分析

-氣體傳感器的MEMS裝置的熱特性測(cè)量和分析

-InGaZnO薄膜晶體管的發(fā)熱特性及可靠性分析

Specification（規(guī)格）

Model	Microscope CTRM 700
物鏡倍率		10x	20x	50x	100x
觀察/ 測(cè)量范圍	水平 (H): μm	1400	700	280	140
	垂直 (V): μm	1050	525	210	105
工作范圍: mm		16.5	3.1	0.54	0.3
數(shù)值孔徑(N.A.)		0.30	0.46	0.80	0.95
光學(xué)變焦		x1 to x6
觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)		針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
測(cè)量高度		7 mm
分辨率	橫向分辨率	0.3 μm
	軸向分辨率	0.8 μm
熱分辨率		1℃
Image size	共聚焦模式	1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
	熱成像模式	1024x768
幀速率	共聚焦模式	10 Hz to 160 Hz
	熱成像模式	0.3 Hz
激光共焦測(cè)量光源	波長(zhǎng)	638 nm
	輸出	~2mW
	激光等級(jí)	Class 3b
光學(xué)顯微鏡光源	LED	10W
光學(xué)觀察照相機(jī)	成像元件	1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器
	記錄分辨率	640x480
數(shù)據(jù)處理單元		PC
電源	電源電壓	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	電流消耗	500 VA max.
重量	顯微鏡	Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~14 kg)
	控制器	~8 kg

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